开缝矩形波导的分层电铸方法

摘要

一种开缝矩形波导的分层电铸方法，属于电加工领域，包括以下步骤：步骤1：在基片（1）表面涂覆一层光刻胶（2）；步骤2：进行第一次曝光；步骤3：进行第一次显影；步骤4：电铸一层铜（4）；步骤5：进行精密抛磨；步骤6：涂覆一层光刻胶（5）；步骤7：进行第二次曝光；步骤8：进行第二次显影；步骤9：进行表面导电化处理；步骤10：对第一层铜进行微量电解，去除表面的氧化膜；步骤11：电铸第二层铜，形成电铸体（9）；步骤12：溶解掉多余的光刻胶，取出电铸体（9），对表面进行精密抛磨；步骤13：清洗电铸体（9），得到开缝矩形波导（10）。开缝矩形波导由两次电铸铜得到，加工精度高，工艺适应性强。