用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜方法、装置、系统以及光电倍增管的光电阴极及其制备方法

摘要

本发明提供一种用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜方法、装置、系统以及光电倍增管的光电阴极及其制备方法。该装置包括：蒸发源、扩张机构、蒸发电极、液压机构和基底。蒸发源为固体金属材料，扩张机构可以在收缩时可以伸入开口较小的特殊形状的大面积待镀膜样品，伸入待镀开口后张开，将蒸发源均匀分散到各个位置，液压机构负责给扩张机构提供打开或收缩的动力，蒸发电极与蒸发源相连，提供蒸发电流。整个镀膜在真空系统提供的真空环境下进行。利用本发明可解决大尺寸不规则的内表面镀膜时均匀性较差的问题，提出了一种在玻壳内表面镀膜时采用多点蒸发的方法，解决镀膜均匀性问题。