温湿度传感器及其制备方法、温湿度测量系统

摘要

本发明涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器，包括：衬底；以及并列设置于所述衬底上的第一测量单元和第二测量单元；所述第一测量单元包括设置在所述衬底表面的第一电极和覆盖所述第一电极的第一温湿度感应层；所述第二测量单元包括设置于所述衬底表面的第二电极、覆盖所述第二电极的第二温湿度感应层和覆盖所述第二温湿度感应层的阻水膜；其中，所述第一温湿度感应层和所述第二温湿度感应层均为含氧化石墨烯的温湿度感应层。上述温湿度传感器能够实现温度和湿度的同时测量。本发明还涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器的制备方法和温湿度测量系统。