法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-12
授权
授权
2018-09-14
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 申请日:20141225
著录事项变更
2018-09-14
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 申请日:20141225
著录事项变更
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20141225
实质审查的生效
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20141225
实质审查的生效
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20141225
实质审查的生效
2016-07-20
公开
公开
2016-07-20
公开
公开
2016-07-20
公开
公开
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机译: 低温化学气相沉积的方法和设备-cvd的沉积-和pecvd(等离子增强化学气相沉积)-薄膜
机译: 形成具有PrMnO 3 Sub> / CaMnO 的薄膜的Pr x Sub> Ca 1-x Sub> MnO 3 Sub>薄膜的方法3 Sub>采用金属有机化学气相沉积的超晶格结构
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