基于达曼光栅和反射镜的多光束激光干涉微纳加工装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于达曼光栅和反射镜的多光束激光干涉微纳加工装置及方法，采用双层达曼透射光栅作为分束器，将经过准直扩束、光束整形的单束激光分成振幅强度相同的多束相干光，并利用滑道上的反射镜进行光束间夹角的调整和加工周期的选取，获得各级次光强分布均匀的光阵列，将多束相干光会聚到待加工材料表面干涉，得到干涉激光条纹从而加工出周期性平行沟槽微纳结构。本发明取代了现有系统中的离散式多支架方案，大大提高了系统的方便性、可靠性和效率。本发明具有光路调整方便、加工尺寸可控、效率高、适合低成本大批量生产、操作简单等优点。