一种间接测量石英振梁加速度计内部石英谐振梁的温度的方法

摘要

本发明公开了一种间接测量石英振梁加速度计内部石英谐振梁的温度的方法，该方法基于对传热学研究所得到的理论基础，通过引入参数等效热阻的概念进而间接得到石英谐振梁的温度。本发明设计的石英谐振梁间接测温方案包括：石英谐振梁静态条件下温度与输出频率的模型建立，石英谐振梁与外置温度传感器之间等效热阻的测定，以及石英谐振梁温度的计算。该方法可以准确地测量出无法放置温度传感器的石英振梁加速度计内部石英谐振梁的温度；在石英振梁加速度计的温度误差补偿中，有效地消除了外置温度传感器与石英谐振梁之间的温度梯度，提高了补偿精度。