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提高测试准确性的测试装置及测试方法

摘要

本发明提出了一种提高测试准确性的测试装置及测试方法,通过在测试通道添加一个控制器,再在待测芯片两端分别添加电源开关及测试通道开关,控制器可控制测试通道开关的关闭和断开,还可通过寄存器分别控制电源开关的闭合和断开,从而拓展了测试通道的能力,能够实现在不增加额外测试通道的前提下,分别检测待测芯片的电流,并排除多芯片共电源测试方法的弊端,避免因为一个芯片的漏电而造成整体电源波动,影响对其他待测芯片的正常测试,从而提高测试准确度。

著录项

  • 公开/公告号CN104635142B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;

    申请/专利号CN201510053883.7

  • 发明设计人 钱亮;索鑫;

    申请日2015-01-31

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郑玮

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

  • 入库时间 2022-08-23 10:11:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-01

    授权

    授权

  • 2015-06-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/28 申请日:20150131

    实质审查的生效

  • 2015-05-20

    公开

    公开

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