公开/公告号CN104635142B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201510053883.7
申请日2015-01-31
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人郑玮
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 10:11:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-01
授权
授权
2015-06-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/28 申请日:20150131
实质审查的生效
2015-05-20
公开
公开
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