一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的方法及系统

摘要

一种微纳毛细管等内径刻蚀制备不同形貌尖端的方法及系统，属于微加工领域。氢氟酸刻蚀舱、水浴加热套管、循环水浴泵、导管、管内气压控制装置。本发明的刻蚀方法包括：双套管刻蚀，单套管刻蚀，裸管刻蚀和液面刻蚀四种。本发明可制备，锥形长度为1～10mm，锥尖外径1～500μm，内径为0.1～450μm的等内径毛细管尖端，精确取液的下限体积为飞升级。在等内径下，取样体积与液段长度线性相关，大大简化了体积计算和取样压力控制过程，实现了取样体积可视化，提高了取液精度。本法所得毛细管尖端具有多种用途如：用于动植物细胞活体取样，作为质谱进样针使用等。