法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-15
授权
授权
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/26 申请日:20160315
实质审查的生效
2016-07-27
公开
公开
机译: 电连接薄膜致动镜阵列的薄膜电极并将端子连接到有源矩阵上的方法和薄膜致动镜阵列的生产方法,包括该方法以及由此产生的薄膜致动镜阵列的方法
机译: 一种用于夹紧致动构件的装置,该致动构件用于调节这种类型的无线电接收或其他形式的元件。
机译: 一种用于沉积电致氧化钨薄膜的新型溶胶的制备方法