飞秒激光扫描功率调控装置和方法、飞秒激光加工系统

摘要

一种飞秒激光扫描功率调控装置和方法、飞秒激光加工系统，包括：激光调制器，构造成对来自激光源的激光进行调制；脉冲宽度调制信号生成器，构造成向激光调制器提供具有占空比的脉冲宽度调制信号；和控制器，构造成与脉冲宽度调制信号生成器通信，以向所述脉冲宽度调制信号生成器提供所述占空比，其中所述占空比为当前激光扫描线速度与最大激光扫描线速度的比值。一种飞秒激光扫描功率调控方法，包括以下步骤：提供激光调制器，激光调制器构造成对来自激光源的激光进行调制；和向激光调制器提供具有占空比的脉冲宽度调制信号，所述占空比为当前激光扫描线速度与最大激光扫描线速度的比值。