基于分解成本最小化和合法化的三图样光刻布局分解方法

摘要

本发明涉及一种基于分解成本最小化和合法化的三图样光刻布局分解方法，该方法将三图样光刻布局分解问题分成两个阶段求解，首先将初始图样布局图转化为无向图，然后采用图缩减方法来缩小问题规模；第一阶段采用一个松弛优化模型对图样进行染色，第二阶段考虑引入缝合将一个图样分割成多个子图样的方式来消除尽可能多的冲突，实现最终染色。本发明的三图样光刻布局分解方法方法分解合理，高效快速，分解结果好。