用于线内合格率监测的关键参数电测试参数的自动确定的系统及方法

摘要

线内合格率监测可包含使用一或多个算法软件模块。线内合格率监测可包含使用例如学习模块及预测模块的两个相关算法软件模块。所述学习模块可从探针电测试合格率及参数电测试PET属性值的数据学习关键PET参数。所述关键PET参数可最佳地分离所述合格率数据中的离群值及内群值。所述预测模块可使用由所述学习模块发现的所述关键PET参数以预测晶片是探针测试分类中的内群值还是离群值。