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公开/公告号CN104137120B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201380009561.1
发明设计人 杨宝文;乔治·西蒙;岳宗·杜;
申请日2013-01-17
分类号G06K9/62(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:05:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-02
授权
2015-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G06K9/62 申请日:20130117
实质审查的生效
2014-11-05
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