法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F9/44 授权公告日:20180102 终止日期:20180506 申请日:20150506
专利权的终止
2018-01-02
授权
授权
2015-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F9/44 申请日:20150506
实质审查的生效
2015-07-22
公开
公开
机译: 扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备,配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划(NRF)材料创新计划(1711120490 / 2020M34A3106004),由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51%)韩国国家科技研究协会(NST)研发 同盟计划(1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01)由Kriss支持。
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