法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-08
授权
授权
2014-11-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/108 申请日:20111214
实质审查的生效
2014-10-22
公开
公开
机译: 具有具有多个金属氧化物层的绝缘体堆叠的金属-绝缘体-金属(MIM)电容器
机译: 具有金属-绝缘体-金属(MIM)或金属-绝缘体-半导体(MIS)结构的电子设备具有一系列的MIM或MIS材料层,该层包括包含钛酸or或由钛酸consisting组成的绝缘体层
机译: 形成具有单独的种子层和主介电层的金属-绝缘体-金属(MIM)电容器的方法以及如此形成的MIM电容器