一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头及其使用方法

摘要

一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头及其使用方法，涉及一种石墨夹头及其使用方法。本发明要解决现有改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头与硅芯接触不均匀，从而导致接触点局部温度过高，发生靠壁或倒棒现象的问题。本发明所述改良西门子多晶硅还原炉用石墨夹头包括圆台部分4、环形凹槽5、圆状部分6和凸缘7，圆台部分4和圆柱部分6中心为连通孔；使用方法：一、将硅芯下端加工成与倒圆台孔1相同锥度的倒圆台形；二、将加工后的硅芯的倒圆台形一端插入到石墨夹头的倒圆台孔1中。本发明石墨夹头及其使用方法能够提高改良西门子法多晶硅还原炉的运行稳定性，可避免发生靠壁或倒棒现象，结构简单、易于加工，所需石墨材料少，成本低。