一种对MEMS微结构进行非接触式激励的聚焦激波激励装置

摘要

本发明公开了一种对MEMS微结构进行非接触式激励的聚焦激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，手动三轴位移台的Z轴溜板上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，椭球面第一焦点位于椭球腔体内，微结构单元位于椭球面的第二焦点一侧；在椭球腔体上设有针电极单元；二个针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关，二个针电极针尖之间距离小于高压电容充分充电后的最大空气击穿间隙；高压电容电联接至高压电源的正负极。有益效果是：该装置能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好，便于获取微结构的动态特性参数。