法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-21
授权
授权
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20150626
实质审查的生效
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20150626
实质审查的生效
2015-10-14
公开
公开
2015-10-14
公开
公开
机译: 激光加工设备,用于设置激光加工条件的设备,激光加工方法,用于设置激光加工条件的方法,用于设置激光加工条件的程序,计算机可读记录介质以及记录设备
机译: 激光加工设备,激光加工设备的像差调整方法,激光加工设备的像差控制方法和激光加工方法
机译: 激光加工装置包括用于产生加工激光束以改变结构的加工激光,用于产生扫描激光束的扫描激光,光检测器以及用于控制装置的校准单元的参考结构。