法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-04
授权
授权
2015-08-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20130730
实质审查的生效
2015-08-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20130730
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
2014-02-12
公开
公开
机译: 用于在带电粒子束设备中组合自动和手动辅助作业的定序器
机译: 用于在带电粒子束设备中组合自动和手动辅助作业的定序器
机译: 用于在带电粒子束设备中组合自动和手动辅助作业的定序器