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HDI板盲埋孔电气互连可靠性检测方法

摘要

一种HDI板盲埋孔电气互连可靠性检测方法,包括:提供HDI板作为检测样品,检测样品包括检测模块;检测模块包括POWER端回路和SENSE端回路,POWER端回路为SENSE端回路加热;POWER端回路和SENSE端回路在Z方向上均成菊花链结构设置;对POWER端回路提供直流电加热使POWER端回路从室温升至测试温度,POWER端回路将热量传递SENSE端回路使从室温升至测试温度;两个回路冷却至室温,完成一个热循环并检测SENSE端回路的电阻值;重复热循环并检测SENSE端回路的电阻值过150次,电阻值的变化率超出10%,则判定检测样品失效。上述方法实现HDI板盲埋孔电气互连可靠性检测方法。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-30

    授权

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  • 2015-05-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20141231

    实质审查的生效

  • 2015-05-06

    公开

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