公开/公告号CN104599994B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-30
原文格式PDF
申请/专利号CN201410857672.4
申请日2014-12-31
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人吴平
地址 510663 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城光谱中路33号
入库时间 2022-08-23 09:57:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-30
授权
授权
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20141231
实质审查的生效
2015-05-06
公开
公开
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