公开/公告号CN1259593C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-06-14
原文格式PDF
申请/专利权人 诺日士钢机株式会社;
申请/专利号CN01118227.X
申请日2001-05-23
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汪惠民
地址 日本和歌山县
入库时间 2022-08-23 08:58:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03B 27/10 授权公告日:20060614 终止日期:20120523 申请日:20010523
专利权的终止
2011-08-17
专利权的转移 IPC(主分类):G03B 27/10 变更前: 变更后: 登记生效日:20110707 申请日:20010523
专利申请权、专利权的转移
2006-06-14
授权
授权
2001-12-12
公开
公开
2001-11-07
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 能够形成双线的激光曝光方法,曝光装置,以及使用激光曝光法制造具有双线的精细图案的方法和装置
机译: 激光曝光方法,激光曝光装置和照相处理装置
机译: 照片底物,照片底物形成成员,照片底物制造方法,照片底物以及使用该照片底物的曝光方法