公开/公告号CN105612136B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-20
原文格式PDF
申请/专利权人 吉坤日矿日石金属株式会社;
申请/专利号CN201380008218.5
申请日2013-09-02
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人王海川
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:57:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-20
授权
授权
2016-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/453 申请日:20130902
实质审查的生效
2016-05-25
公开
公开
机译: 锌基烧结体氧化物,通过溅射氧化锌基溅射靶而获得的氧化锌基薄膜和由烧结体组成的靶
机译: 氧化锌烧结氧化物,通过溅射氧化锌基溅射靶而获得的氧化锌基薄膜和由烧结体组成的靶
机译: 氧化锌基烧结致密物氧化锌基溅射致密物的组成由该烧结致密物和溅射得到的氧化锌基薄膜形成的