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具有机电谐振器的测量系统、制造该系统的方法和读取至少两个机电谐振器的方法

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本发明涉及一种具有机电谐振器的测量系统，包括至少两个机电谐振器（102

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公开/公告号CN103547889B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-10

原文格式PDF
申请/专利权人原子能及能源替代委员会;
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申请/专利号CN201280024188.2
发明设计人 E·科利内;P·安德勒西;L·迪拉富尔;S·昂兹;
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申请日2012-03-29
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人魏小薇
地址法国巴黎
入库时间 2022-08-23 09:55:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-05-10

授权

授权
2014-03-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/02 申请日:20120329

实质审查的生效
2014-01-29

公开

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