公开/公告号CN103838888B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201210480135.3
发明设计人 殷华湘;
申请日2012-11-23
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人陈新
地址 201203 上海浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:54:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
授权
授权
2014-07-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20121123
实质审查的生效
2014-06-04
公开
公开
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