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公开/公告号CN105009254B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社东芝;
申请/专利号CN201480013303.5
发明设计人 山田宗良;曾我朗;
申请日2014-02-25
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人王英
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:53:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
授权
2015-11-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20140225
实质审查的生效
2015-10-28
公开
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