验收测试装置及一次性可编程器件的验收测试方法

摘要

本发明提供一种验收测试装置及一次性可编程器件的验收测试方法中，采用了具有擦除区的验收测试装置，所述擦除区能够对经测试台测试后的待测晶圆进行紫外擦除，如此就不需要将晶圆搬运到专门的紫外区域，从而提高大大的提高了工作效率，也避免了由于搬运而可能导致的杂质产生这一问题，间接的提高了良率。