带有旋转对称的校准区域的轮廓标准器件、标准器件的使用以及用于校准和/或探测轮廓测量仪的方法

摘要

本发明涉及一种轮廓标准器件(10)，其包括带有旋转对称的校准区域(14)的主体(11)。旋转对称的校准区域(14)具有非圆柱形的多个轴向区段(17)，其在形成给定的角度的情况下相应凸出地、凹入地实施为径向突出部(22)或实施为径向凹处(23)。沿着校准区域(14)设置有平行于主体(11)的纵轴线L伸延的至少一个测量部段(28)，其不仅给定轴向的校准变量li(i＝1至n)，而且给定径向的校准变量a、b。在校准测量仪时可将校准变量a、b、li的值与扫描值进行比较且以确定的偏差为基础对测量仪进行调准。轮廓标准器件(10)由于旋转对称的校准区域(14)不仅适合于校准触觉轮廓测量仪，而且适合于校准光学测量的轮廓测量仪。