具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法

摘要

本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统，从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运行状态，在发生非正常运行的情况下，可立即采取应对措施。此外，流程管理人员可在需要维护系统时，实时掌握相关信息，以提高维护效率。