用于测量两个空间上分离的元件之间的角度的方法

摘要

本发明涉及一种用于测量两个空间上分离的元件(1,2)之间的角度的方法，具有以下步骤：a)制备具有多个干涉图案的多重全息图，至少两个干涉图案具有到全息图平面上的物光波的不同的入射角，干涉图案的入射角被存储为机器可读数据；b)将多重全息图布置在第一元件上的第一元件平面中；c)使用参考光波照射多重全息图；d)将光检测器布置在第二元件上的第二元件平面中；e)使用光检测器来检测在干涉图案上折射的参考光波；f)从检测到的折射参考光波创建强度图案；g)将存储为机器可读数据的入射角分配给强度图案；h)根据分配的入射角来计算第一元件平面与第二元件平面之间的角度。