公开/公告号CN104536146B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN201410787519.9
申请日2014-12-17
分类号G02B27/28(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构22210 长春菁华专利商标代理事务所;
代理人张伟
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
入库时间 2022-08-23 09:51:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-01
授权
授权
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/28 申请日:20141217
实质审查的生效
2015-04-22
公开
公开
机译: 带有衍射屏的光栅干涉仪-多次使用得到的衍射级数作为多偏振或非偏振外差干涉仪或干涉光谱仪
机译: 点衍射干涉仪测量装置和点衍射干涉仪测量方法
机译: 用于光学系统的偏振点衍射干涉仪