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大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法

摘要

本发明涉及一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。现有方法成本高、精度低其效率也较低。本发明的方法为选择透射标准镜头;调整激光波面干涉仪的位置;调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合;调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴;调整标准平面反射镜;旋转干涉仪,使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A;根据子孔径划分方案;重复第六步和第七步。本发明为低成本、高精度、高效率的大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。

著录项

  • 公开/公告号CN103575233B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安工业大学;

    申请/专利号CN201310585997.7

  • 申请日2013-11-20

  • 分类号G01B11/24(20060101);

  • 代理机构61114 西安新思维专利商标事务所有限公司;

  • 代理人黄秦芳

  • 地址 710032 陕西省西安市未央区学府中路2号

  • 入库时间 2022-08-23 09:51:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-01

    授权

    授权

  • 2014-03-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20131120

    实质审查的生效

  • 2014-02-12

    公开

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