一种金刚石桥膜结构微型红外光源芯片及制备方法

摘要

一种金刚石桥膜结构微型红外光源芯片及制备方法，涉及红外技术领域。所述金刚石桥膜结构微型红外光源芯片设有衬底、支撑层、电隔离层、电加热层、金属电极。以清洗处理后的基片的器件层为支撑层；在支撑层上制备电隔离层；在电隔离层上制备电加热层；在衬底上的电加热层位置制备金属电极；沿着与金属电极长边垂直且靠近衬底内侧边缘的方向对电加热层的两侧进行刻蚀，穿过电加热层、电隔离层、支撑层和隔离氧化硅层，形成凹弧形桥面结构；在基片的另一侧，采用干法刻蚀技术对其刻蚀，以隔离氧化层作为刻蚀停止层，形成背部空腔结构，使得支撑层、电隔离层和电加热层悬浮在框架上，形成凹弧形桥式结构，得金刚石桥膜结构微型红外光源芯片。