全氟化碳或全氟化物的除害方法及除害装置

摘要

提供了一种能够在尽可能低的温度下(消耗的热能少)，以高除害率分解除去PFC成分的方法。一种全氟化碳或全氟化物的除害方法，其特征在于在制造设备排出的含有全氟化碳或全氟化物的被处理气体中，混合烃气体或氨气中一种或两种以上气体后，在非氧化性气氛下使上述混合气体热分解。