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一种在受控衬底剥脱期间促进开裂萌生的方法

摘要

本发明涉及一种在受控衬底剥脱期间促进开裂萌生的方法。提供了一种方法,其中,能够以受控方式剥脱包括不同的断裂韧度(K

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-23

    授权

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  • 2014-09-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/302 申请日:20140218

    实质审查的生效

  • 2014-08-27

    公开

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