使用白光扫描干涉测量法进行膜厚度测量的方法和装置

摘要

本发明涉及通过宽带干涉测量法来测量可透过膜的厚度的方法和装置，包括步骤：通过干涉仪来准备该膜的相关图；将傅立叶变换应用于所述相关图以获得傅立叶相位函数；移除所述傅立叶相位函数的线性分量；将第二积分变换应用于剩余的非线性分量以获得所述非线性分量的积分幅度函数；标识所述积分幅度函数的峰位置；以及考虑依赖于波长的膜的折射率，将该膜的厚度确定为在该峰位置处的横坐标的2倍值。可以通过标识所述积分幅度函数的峰位置并将膜的厚度确定为在该峰位置处的横坐标的2倍值来代替最后两个步骤。