具有增强涂层性能的电弧沉积Al-Cr-O涂层

摘要

本发明涉及一种借助于PVD涂覆工艺涂覆Al‑Cr‑O涂层的方法。借助于掺杂Si的含Al和Cr的靶进行PVD涂覆工艺。Si的掺杂防止反应性涂覆工艺过程中在靶上形成氧化物岛。