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多电子源的特性调整方法及特性调整装置

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提供一种多电子源的特性调整方法及特性调整装置，以简易的工序使多电子源的电子发射特性及调整时间基本相同。上述特性调整方法包括：设定特性调整目标值的工序；对每个特性移动电压值制作特性调整表的工序；对每个电子发射元件，使特性移动到特性调整目标值的移动工序；以及监视上述电子发射特性的变化，再设定特性移动条件的工序。

著录项

公开/公告号CN1207746C

专利类型发明授权
公开/公告日2005-06-22

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN02130200.6
发明设计人青木修司;小口高弘;
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申请日2002-08-23
分类号H01J9/02;H01J9/44;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人付建军
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 08:57:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-10-24

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 9/02 授权公告日:20050622 终止日期:20110823 申请日:20020823

专利权的终止
2005-06-22

授权

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2003-03-12

公开

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