研磨剂分布系统及应用此分布系统的化学机械研磨设备

摘要

一种半导体研磨设备的研磨剂分布系统，在其研磨剂输送管路上，设置有多个可调式喷嘴，经调整上述各个喷嘴的组合运作，而得以在上述研磨垫上，获得所需的研磨剂分布状态。此外，还公开了应用上述半导体研磨设备的研磨剂分布系统的化学机械研磨设备。