控制激光电源的调整电平的气体激光振荡器

摘要

本发明的气体激光振荡器(20)具备放电管(21、22)、主放电电极(23、24)、辅助电极(31、32)、输出激光的输出镜(30)、切断来自输出镜的激光输出的机械式快门(35)。用于在激光输出为0的状态下维持辅助放电的基础放电指令在机械式快门关闭时被设定为第一指令值，在机械式快门打开时被设定为比第一指令值小的第二指令值。