公开/公告号CN217008886U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-07-19
原文格式PDF
申请/专利权人 广州金升阳科技有限公司;
申请/专利号CN202220113831.X
发明设计人 不公告发明人;
申请日2022-01-17
分类号H01F27/28;H01F27/30;H01F27/24;H01F27/36;H05K1/02;H05K1/11;H05K1/18;
代理机构
代理人
地址 510670 广东省广州市黄埔区南云四路8号
入库时间 2022-09-06 01:12:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-19
授权
实用新型专利权授予
机译: 活性射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物,活性射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物的制备方法,活性射线敏感性或辐射敏感性树脂膜,形成图案的方法以及电子器件的制造方法
机译: 活性光敏或辐射敏感性树脂组合物,活性光敏或辐射敏感性薄膜,具有活性光敏或辐射敏感性薄膜的掩模坯料,图案形成方法,电子器件的制造方法,电子器件和新型化合物
机译: 光化射线或放射线敏感性树脂组合物,光化射线或放射线敏感性膜,具有光化射线或放射线敏感性膜的掩模坯料,图案形成方法,电子器件的制造方法,电子器件及化合物