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一种等离子体喷枪的等离子体强度检测机构

摘要

本实用新型的一种等离子体喷枪的等离子体强度检测机构,包括等离子体喷枪主体,所述等离子体喷枪主体包括壳体,所述壳体为封闭腔体结构,壳体的一端部设置等离子体喷头,等离子体喷头固定在主轴承的主轴上,高压电极与旋气环组件通过法兰与主轴承的主轴相连,主轴承的主轴与旋转电机连接,法兰在直径方向上有两个与石英棒同心的通孔,通孔与轴承底座上的光纤探头侧孔相通;石英棒的外端通道与光纤探头上导光孔连通,光纤探头通过光纤与控制模块相通。本实用新型通过在等离子体射流喷枪高压电极中增加石英棒来采集不同状态下等离子体射流的光强变化来间接反映等离子体的强弱,使得设备本身具备等离子体诊断功能,提高了有效诊断手段。

著录项

  • 公开/公告号CN216982174U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-07-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中科等离子体科技(合肥)有限公司;

    申请/专利号CN202123445785.8

  • 申请日2021-12-30

  • 分类号H05H1/26;

  • 代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙);

  • 代理人苗娟

  • 地址 230088 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验区合肥市高新区望江西路900号中安创谷科技园D3幢二楼

  • 入库时间 2022-09-06 01:09:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-07-15

    授权

    实用新型专利权授予

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