一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵

摘要

本实用新型涉及涡轮分子泵技术领域，具体涉及一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵。涡轮分子泵叶片，叶片本体的压力面与吸力面均为曲面，所述叶片本体的厚度从根部向顶部逐渐减小，所述叶片本体根部的叶片厚度为3.5mm－4.5mm，所述叶片本体顶部的叶片厚度为1.5mm－2.5mm，所述叶片本体的进口角为25°－35°，所述叶片本体的出口角为40°－50°，所述叶片本体的叶片倾角为0°－20°。设计为较小的进口角度和较大的出口角度，能够提高对被抽气体捕捉能力、排出能力及反向阻止回流能力。在其他参数相同的情况下，能够提高涡轮分子泵的抽速和压缩比，能够大大提升涡轮分子泵在低压工况下的抽气能力。