一种外延炉温场均匀性调节装置

摘要

本实用新型公开了一种外延炉温场均匀性调节装置，包括安装箱，所述安装箱的上端固定安装有处理箱，所述处理箱的后端通过合页转动安装有门板，所述安装箱和处理箱的右端共同固定安装有控制箱，所述处理箱的内腔底壁固定安装有外延炉。本实用新型通过设置的隔温组件和固定组件，因为加工需要在真空环境中处理，所以加工时将会有气体从外延炉内排出，波折板能够起到个保温的效果，而且能够吸附气体中的粉末，防止吸附在处理箱的内部，这样也能够保证处理箱内部的温场平衡不会导致温度流失过快，而隔温板和隔热板能够保证处理箱内的温度平衡，不会导致大量的热量流失,从而使得整个装置更加的实用。