真空预冷泵组合装置及真空预冷柜

摘要

本实用新型属于真空预冷技术领域，尤其涉及一种真空预冷泵组合装置及真空预冷柜，包括第一真空泵、第二真空泵、第一抽气管、第二抽气管和第一排气管，第一抽气管的第一端与第一真空泵的输入端连通，第一真空泵的输出端与第二抽气管的第一端连接，第二抽气管的第二端与第二真空泵的输入端连通，第二真空泵的输出端与第一排气管连通；第一真空泵工作产生负压，气体通过第一真空泵后进入第二抽气管中，第二真空泵工作产生负压，增大第二抽气管中气流的流速，增大气流从第二抽气管流向第三抽气管的速度，从而提高真空预冷泵组合装置的整体的抽气效率，冷却速率高。