法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
授权
2014-08-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 3/028 申请日:20140321
实质审查的生效
2014-07-23
公开
公开
机译: 悬臂阵列,阵列的制造方法,扫描探针显微镜,引导和旋转机构的滑动装置,传感器,具有样品光激发功能的零差激光干涉仪和激光多普勒干涉仪,使用该阵列的悬臂
机译: 悬臂阵列,阵列的制造方法,扫描探针显微镜,引导和旋转机构的滑动装置,传感器,零差激光干涉仪和具有样品光激发功能的激光多普勒干涉仪,使用了该阵列和悬臂
机译: 悬臂阵列,阵列的制造方法,扫描探针显微镜,引导和旋转机构的滑动装置,传感器,具有样品光激发功能的零差激光干涉仪和激光多普勒干涉仪,使用该阵列的悬臂