籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备

摘要

本实用新型公开了一种籽晶轴组件、提拉系统及晶体生长设备，籽晶轴组件包括：籽晶轴和冷却管。籽晶轴为中空杆，籽晶轴内具有中空腔且中空腔的底部封闭，冷却管设在中空腔内，冷却管内限定出进液腔，冷却管的外周壁与中空腔的内周壁之间限定出出液腔，出液腔与进液腔连通，冷却液适于流入进液腔并经出液腔流出。根据本实用新型实施例的籽晶轴组件，在晶体生长设备工作的过程中，可以实现对籽晶轴进行冷却降温，使籽晶易产生冷点，利于引晶及晶体生长。