公开/公告号CN214359886U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 泸州市繁星环保发展有限公司;
申请/专利号CN202023026171.1
申请日2020-12-16
分类号B66C23/06(20060101);B66C23/84(20060101);B66C23/687(20060101);B66C23/78(20060101);B66C23/62(20060101);
代理机构51214 成都九鼎天元知识产权代理有限公司;
代理人李想
地址 646000 四川省泸州市江阳区前进中路2号三层
入库时间 2022-08-23 00:54:49
机译: 一种用于EUV光刻的膜组件的制造方法,一种膜组件,一种光刻设备以及一种装置的制造方法
机译: 一种用于EUV光刻的膜组件的制造方法,一种膜组件,一种光刻设备以及一种装置的制造方法
机译: 一种用于EUV光刻的膜组件的制造方法,一种膜组件,一种光刻设备以及一种装置的制造方法