微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路

摘要

本申请提供一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，设置于MPCVD系统，该MPCVD系统包括真空泵，保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，控制器与触摸屏电连接；真空泵通过自动控制开关以及手动控制开关与电源连接；自动控制开关和手动控制开关均与控制器电连接。其中，手动控制开关的闭合与断开只能由运维人员手动控制，运维人员可以在控制程序故障且不能通过控制面板控制系统的运行时，手动控制手动控制开关断开，提高系统的安全性。自动控制开关可以在真空泵运行出现异常时自动断开，进一步提高的安全性。并且，触摸屏可以显示上述控制开关的通断状态，能够直观地提示上述保护电路的运行状况。