用于合成碳化硅粉料的坩埚和合成碳化硅粉料的系统

摘要

本实用新型提供了一种用于合成碳化硅粉料的坩埚和合成碳化硅粉料的系统，涉及碳化硅合成装置领域。该坩埚包括坩埚盖、坩埚桶和坩埚底，坩埚桶的顶部与坩埚盖可拆卸连接，坩埚桶的底部与坩埚底可拆卸连接，坩埚盖和坩埚桶之间还设置有结晶板，结晶板与坩埚桶可拆卸连接。本申请通过设置结晶板，可以有效避免合成产物在坩埚盖面上结晶，减少对坩埚盖损耗，而结晶于结晶板上的合成产物可以通过将结晶板拆卸后进行取料。此外，坩埚底与坩埚桶可拆卸连接，可以实现直接取下坩埚底进行取料，操作方便。本申请的用于合成碳化硅粉料的坩埚组装拆卸简便，便于合成后产物的取料操作，该结构能重复使用，大大提高坩埚使用寿命。