公开/公告号CN213912862U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中车(天津)轨道交通设备有限公司;
申请/专利号CN202022346794.0
发明设计人 杨强;
申请日2020-10-20
分类号B01D46/52(20060101);B01D46/00(20060101);
代理机构11684 北京沁优知识产权代理有限公司;
代理人张亚娟
地址 300000 天津市静海区子牙经济循环产业园区浙江道2号
入库时间 2022-08-22 23:38:52
机译: 平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译: 平面型光源装置及具有该平面型光源装置的液晶显示装置
机译: 平面型半导体装置的制造装置及平面型半导体装置的制造方法